單晶硅片 |
發(fā)布時(shí)間:7/9/2010 5:23:44 PM 瀏覽:7367 |
硅片主要由高純多晶硅經(jīng)特殊工藝高溫熔煉成一定形狀的硅方塊或硅圓棒,再經(jīng)多線切割而成薄片狀,以滿足后續(xù)加工的需要。硅片是目前光伏行業(yè)最重要的基體材料。 宜昌南玻依托自身的硅材料基地,能夠最大限度的發(fā)揮硅材料資源的整合優(yōu)勢(shì),保障原材料品質(zhì)和供應(yīng)穩(wěn)定。隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,處于光伏產(chǎn)業(yè)上游的硅片生產(chǎn)環(huán)節(jié)顯得越來(lái)越重要。為了降低成本,增大單位原料的產(chǎn)出,我們生產(chǎn)的高密度、高性能、輕薄高效的硅片成為了硅片市場(chǎng)的“新寵”。 配圖:硅片廠房、硅片、硅片工藝流程等。
單晶硅片技術(shù)規(guī)格要求 |
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A級(jí) |
B級(jí) |
說(shuō)明 |
項(xiàng)目 |
物理性能 |
晶向 |
(100) ± 3° |
(100) ± 3° |
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氧含量(atom/cm3) |
≤1.0E+18 |
≤1.0E+18 |
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碳含量(atom/cm3) |
≤5.0E+16 |
≤5.0E+16 |
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少子壽命(μs) |
τ≥10μs(鈍化后) |
τ≥10μs(鈍化后) |
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導(dǎo)電類型 |
P |
P |
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電阻率(Ω.Cm) |
1-3;3-6 |
0.8-3;3-6 |
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幾何參數(shù) |
邊長(zhǎng)(mm) |
125×125±0.5 |
125×125±0.5 |
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對(duì)角線(mm) |
165±0.5 |
165±0.5 |
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厚度(μm) |
200±20 |
200±30 |
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TTV(μm) |
<30 |
≤50 |
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翹曲度(μm) |
<50 |
<70 |
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同心度 |
任意兩弧的弦長(zhǎng)之差≤0.5mm |
任意兩弧的弦長(zhǎng)之差≤1mm |
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垂直度 |
90±0.3° |
90±0.5° |
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外觀質(zhì)量 |
崩邊 |
長(zhǎng)≤0.5 mm, 深≤0.3 mm |
長(zhǎng)≤1 mm, 深≤0.5 mm |
硅片邊緣破損,無(wú)論是否有穿透現(xiàn)象都視為崩邊 |
數(shù)量≤2個(gè) |
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無(wú)V型口 |
無(wú)V型口 |
硅落 |
長(zhǎng)≤50mm,寬度≤100μm,深度不能延伸到硅片表面 |
長(zhǎng)寬不限,深度不能延伸到硅片表面 |
硅片邊緣有硅粉掉落、亮邊現(xiàn)象 |
線痕 |
中部≤17 μm,邊緣2mm內(nèi)≤20 μm |
≤30 μm |
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無(wú)密集線痕 |
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密集線痕(每1cm上線痕的條數(shù)超過(guò)5條) |
色差 |
無(wú) |
有明顯色差 |
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污片 |
無(wú) |
無(wú)明顯沾污,表面臟污≤10% |
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位錯(cuò)(pcs/㎝2) |
≤3000 |
≤3000 |
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應(yīng)力片 |
無(wú) |
無(wú) |
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凹坑、缺口、裂紋、氣孔、臺(tái)階 |
無(wú) |
無(wú) |
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多晶硅片技術(shù)規(guī)格要求 |
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A級(jí) |
B級(jí) |
說(shuō)明 |
項(xiàng)目 |
物理性能 |
氧含量(atom/cm3) |
≤1.0E+18 |
≤1.0E+18 |
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碳含量(atom/cm3) |
≤5.0E+17 |
≤5.0E+17 |
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少子壽命(μs) |
τ≥2μs |
τ≥2μs |
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導(dǎo)電類型 |
P |
P |
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電阻率(Ω.Cm) |
1-3 |
0.8-3 |
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幾何參數(shù) |
邊長(zhǎng)(mm) |
156×156±0.5 |
156×156±0.5 |
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厚度(μm) |
200±20 |
200±30 |
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TTV(μm) |
<30 |
≤50 |
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彎曲度(μm) |
<50 |
<70 |
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對(duì)角線(mm) |
219.2±1.2 |
219.2±1.2 |
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倒角(mm) |
1~2 |
0.8~2 |
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垂直度 |
90±0.3° |
90±0.5° |
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外觀質(zhì)量 |
崩邊 |
長(zhǎng)≤0.5 mm, 深≤0.3 mm |
長(zhǎng)>1 mm, 深≤0.5 mm |
硅片邊緣破損,無(wú)論是否有穿透現(xiàn)象都視為崩邊 |
數(shù)量≤2個(gè) |
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無(wú)V型口 |
無(wú)V型口 |
硅落 |
長(zhǎng)≤50mm,寬度≤100μm,深度不能延伸到硅片表面 |
長(zhǎng)寬不限,深度不能延伸到硅片表面 |
硅片邊緣有硅粉掉落、亮邊現(xiàn)象 |
線痕 |
中部≤17 μm,邊緣2mm內(nèi)≤20 μm |
≤30 μm |
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無(wú)密集線痕 |
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密集線痕(每1cm上線痕的條數(shù)超過(guò)5條) |
色差 |
無(wú) |
有明顯色差 |
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污片 |
無(wú) |
無(wú)明顯沾污,表面臟污≤10% |
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微晶(pcs/㎝2) |
無(wú) |
≤10 |
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應(yīng)力片 |
無(wú) |
無(wú) |
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凹坑、缺口、裂紋、氣孔、臺(tái)階 |
無(wú) |
無(wú) |
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